低壓冷氣體電漿
冷氣體電漿（亦稱「低壓冷氣體電漿」）是在密閉抽真空腔體內進行，與大氣（空氣）表面前處理方式不同。通常使用工業級 100% 氧氣（O2），也可使用其他氣體或氣體組合。氣體在部分真空狀態下釋入腔體，並施加 RF 電場。置於電漿場中、位於內部導電鋁製層架或籠架上的高分子材料，與所生成的高活性物種產生反應，打斷分子鍵結，從而達成清潔與化學及物理改質，包括提高表面粗糙度以改善機械鍵結。冷氣體電漿製程的一大優點是可去除碳氫化合物，因而免除溶劑清洗。大氣前處理無法完全去除所有多環芳香烴，因此在前處理之前可能仍需溶劑清洗。
迷思：冷氣體電漿的批次製程相較於線上處理方式太慢。
事實：大量零件通常可以批次前處理後，直接投入自動化組裝作業，無需額外加工。經冷氣體電漿處理的零件往往展現最高的處理品質與最長的效期。相關批評多來自競爭的設備製造商。
冷氣體電漿腔體系統外觀（腔內為電漿）。
冷氣體電漿示意圖。
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常見問題
什麼是低壓冷氣電漿？
冷氣電漿在密閉抽真空的腔體中進行，而非在開放空氣中。常用工業級氧氣，也使用其他氣體及氣體組合。在部分真空下將氣體通入腔體並施加射頻電場，所生成的高反應性物種隨即打斷聚合物表面的分子鍵，在清潔表面的同時對其進行化學與物理改質。
批次式冷氣電漿對量產而言是否太慢？
這類批評往往來自競爭的設備製造商。實際上大批量零件可分批前處理後直接送入自動組裝，無需額外加工。冷氣電漿處理的零件在可選製程中往往具有最高的處理品質與最長的有效期。
冷氣電漿在活化表面之外也會去除污染嗎？
是的——這正是它的主要優勢之一。它能去除烴類，可完全省去單獨的溶劑清洗工序。大氣壓前處理無法去除全部多環芳香烴，採用這類製程時，事先的溶劑清洗仍可能必要。
冷氣電漿除了化學鍵結之外也改善機械結合嗎？
兩者都改善。除了化學改質，該製程還會增加表面粗糙度，這種附加的微觀形貌可獨立於化學作用改善機械結合。
