表面前處理/表面品質 — The Sabreen Group, Inc.

UV 輻射與臭氧

UV-O3 清潔對於去除有機污染物通常相當有效,但對無機污染物可能效果不彰。因此,在進行 UV-O3 清潔之前,必須先以純水、溶劑或類似方式作為前置清潔,去除無機污染物。

UV-O3 清潔的原理

UV-O3 清潔的原理如下:有機化合物在紫外線分解作用下,以及在 O3 生成與分解過程中的強氧化作用下,轉化為揮發性物質(例如水、二氧化碳、氮氣),並從受污染的表面移除。

眾所周知的低壓汞蒸氣燈所輻射的紫外線,主要波長為 184.9 nm 與 253.7 nm。當大氣中的氧氣 O2 受到波長 184.9 nm 的紫外線照射時,氧會吸收紫外線並經由下列反應生成 O3:

波長 189.4 nm 的紫外線。臭氧 O3 受到波長 253.7 nm 的紫外線照射時,會吸收紫外光而分解。在 O3 生成或分解的過程中,會產生具有強氧化能力的原子氧 O。

UV-O3 清潔可去除的污染物

  • 切削油
  • 蜂蠟與松脂的混合物
  • 研磨劑
  • 真空幫浦油
  • 矽擴散幫浦油
  • 矽真空潤滑脂
  • 焊接助焊劑
  • 人體皮脂
  • 長期暴露於空氣中所吸附的污染物
  • 真空蒸鍍形成的碳薄膜
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常見問題

紫外線/臭氧清洗如何運作?

表面的有機化合物被轉化為水、二氧化碳與氮氣等揮發性物質。184.9奈米的紫外線被大氣中的氧吸收並生成臭氧,而253.7奈米的紫外線被該臭氧吸收並使其分解。在臭氧生成與分解的兩個過程中都會產生具強氧化能力的原子氧,正是它去除了污染。

紫外線/臭氧清洗能去除哪些污染?

有據可查可去除的污染物包括切削油、研磨劑、真空泵油、矽擴散泵油、矽真空脂、焊接助焊劑、蜂蠟與松香的混合物、人體皮脂、真空蒸鍍形成的碳薄膜,以及長期暴露於空氣中吸附的污染物。

紫外線/臭氧清洗可以單獨使用嗎?

一般不行。它對有機污染有效,但對無機污染可能無效,因此在進行紫外線臭氧清洗前,必須先以純水、溶劑或類似方式去除無機污染。

使用哪一種光源?

標準光源是低壓汞燈,其主要發射波長為184.9奈米與253.7奈米——正是分別生成與分解臭氧的兩個波長,因此一支燈即可驅動反應的兩個半程。

Scott Sabreen

Scott Sabreen
總裁兼首席工程師
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