紫外线/臭氧处理

紫外线 / 臭氧

UV-O3清洗通常能有效去除有机污染物，但对无机污染物可能效果有限。因此，在进行UV-O3清洗前，须先用纯水、溶剂等方法去除无机污染物，作为预清洗步骤。

UV-O3清洗原理

UV-O3清洗的原理如下：有机化合物在紫外线分解作用，以及O3生成与分解过程中强氧化作用的共同作用下，被转化为挥发性物质（如水、二氧化碳、氮气），从而从污染表面去除。

众所周知，低压汞蒸气灯发射的紫外线主要波长为184.9 nm和253.7 nm。当大气中的氧气O2受到波长为184.9 nm的紫外线照射时，氧气吸收紫外线，通过以下反应生成O3：

波长为189.4 nm的紫外线，以及波长为253.7 nm的紫外线照射臭氧O3时，O3吸收紫外光而分解。在O3生成或分解的过程中，会产生具有强氧化能力的原子态氧O。

可通过UV-O3清洗去除的污染物

• 切削油
• 蜂蜡与松脂混合物
• 研磨剂
• 真空泵油
• 硅扩散泵油
• 硅脂（真空用）
• 焊接助焊剂
• 人体皮脂
• 长期空气暴露中吸附的污染物
• 真空蒸发形成的碳薄膜

低压汞灯光谱图

大气等离子体

火焰等离子

紫外线 / 臭氧

电晕放电处理

Pyrosil 火焰等离子

氟氧化处理

电气空气等离子体

低压（冷气体）等离子体

化学与机械处理

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常见问题

紫外/臭氧清洗如何工作？

表面的有机化合物被转化为水、二氧化碳和氮气等挥发性物质。184.9纳米的紫外线被大气中的氧吸收并生成臭氧，而253.7纳米的紫外线被该臭氧吸收并使其分解。在臭氧生成与分解的两个过程中都会产生具有强氧化能力的原子氧，正是它去除了污染。

紫外/臭氧清洗能去除哪些污染？

有据可查可去除的污染物包括切削油、研磨剂、真空泵油、硅扩散泵油、硅真空脂、焊接助焊剂、蜂蜡与松香的混合物、人体皮脂、真空蒸镀形成的碳薄膜，以及长期暴露于空气中吸附的污染物。

紫外/臭氧清洗可以单独使用吗？

一般不行。它对有机污染有效，但对无机污染可能无效，因此在进行紫外臭氧清洗前，必须先用纯水、溶剂或类似方式去除无机污染。

使用哪种光源？

标准光源是低压汞灯，其主要发射波长为184.9纳米和253.7纳米——正是分别生成和分解臭氧的两个波长，因此一支灯即可驱动反应的两个半程。