พลาสมาแก๊สเย็นความดันต่ำ » การปรับสภาพในห้องสุญญากาศ

พลาสมาแก๊สเย็นความดันต่ำ

พลาสมาแก๊สเย็น หรือที่เรียกว่าพลาสมาแก๊สเย็นความดันต่ำ ดำเนินการภายในห้องปิดที่ดูดอากาศออก ต่างจากวิธีปรับสภาพพื้นผิวแบบความดันบรรยากาศ โดยทั่วไปใช้ก๊าซออกซิเจนเกรดอุตสาหกรรมความบริสุทธิ์ 100 เปอร์เซ็นต์ (O2) รวมถึงก๊าซชนิดอื่นและก๊าซผสม ก๊าซจะถูกปล่อยเข้าสู่ห้องภายใต้สุญญากาศบางส่วนและได้รับสนามไฟฟ้าแบบ RF การตอบสนองระหว่างสปีชีส์ที่ว่องไวสูงซึ่งเกิดขึ้น กับพอลิเมอร์ที่วางอยู่ในสนามพลาสมาบนชั้นวางหรือกรงอะลูมิเนียมนำไฟฟ้าภายใน จะทำลายพันธะโมเลกุล ส่งผลให้เกิดการทำความสะอาดและการดัดแปรทางเคมีและกายภาพ รวมถึงการเพิ่มความขรุขระของพื้นผิวซึ่งช่วยปรับปรุงการยึดติดเชิงกล ประโยชน์สำคัญของกระบวนการพลาสมาแก๊สเย็นคือการขจัดไฮโดรคาร์บอน จึงไม่จำเป็นต้องล้างด้วยตัวทำละลาย ส่วนการปรับสภาพแบบความดันบรรยากาศไม่สามารถขจัดไฮโดรคาร์บอนพอลิอะโรมาติกได้ทั้งหมด จึงอาจจำเป็นต้องล้างด้วยตัวทำละลายก่อนการปรับสภาพ

ความเชื่อผิด: การประมวลผลแบบแบตช์ของพลาสมาแก๊สเย็นช้าเกินไปเมื่อเทียบกับวิธีปรับสภาพแบบอินไลน์

ข้อเท็จจริง: ชิ้นงานปริมาณมากมักสามารถปรับสภาพแบบแบตช์แล้วป้อนเข้าสู่กระบวนการประกอบอัตโนมัติได้ทันที จึงไม่ต้องผ่านกระบวนการเพิ่มเติม ชิ้นงานที่ผ่านการปรับสภาพด้วยพลาสมาแก๊สเย็นมักแสดงคุณภาพการปรับสภาพสูงสุดและอายุการเก็บรักษายาวนานที่สุด คำวิจารณ์ส่วนใหญ่มาจากผู้ผลิตอุปกรณ์คู่แข่ง

ภาพระบบห้องพลาสมาแก๊สเย็น โดยมีพลาสมาอยู่ภายใน

แผนภาพแสดงหลักการของพลาสมาแก๊สเย็น

พลาสมาความดันบรรยากาศ

เฟลมพลาสมา

รังสี UV และโอโซน

การปรับสภาพด้วยโคโรนา

เฟลมพลาสมา Pyrosil

ฟลูออโรออกซิเดชัน

พลาสมาอากาศจากการปล่อยประจุไฟฟ้า

พลาสมาแก๊สเย็น

เคมีและเชิงกล

---

คำถามที่พบบ่อย

พลาสมาแก๊สเย็นความดันต่ำคืออะไร

พลาสมาแก๊สเย็นดำเนินการในห้องปิดที่ดูดอากาศออก ไม่ใช่ในอากาศเปิด โดยทั่วไปใช้ออกซิเจนเกรดอุตสาหกรรม รวมทั้งแก๊สอื่นและแก๊สผสม แก๊สถูกปล่อยเข้าห้องภายใต้สุญญากาศบางส่วนและรับสนามไฟฟ้าความถี่วิทยุ สปีชีส์ที่ว่องไวสูงซึ่งเกิดขึ้นจะตัดพันธะโมเลกุลบนพื้นผิวพอลิเมอร์ ทั้งทำความสะอาดและปรับสภาพพื้นผิวทางเคมีและกายภาพ

พลาสมาแก๊สเย็นแบบเป็นชุดช้าเกินไปสำหรับการผลิตหรือไม่

คำวิจารณ์นี้มักมาจากผู้ผลิตเครื่องจักรที่เป็นคู่แข่ง ในทางปฏิบัติ ชิ้นงานจำนวนมากสามารถปรับสภาพเป็นชุดแล้วป้อนเข้าสู่การประกอบอัตโนมัติได้โดยตรง โดยไม่ต้องมีการแปรรูปเพิ่ม ชิ้นงานที่ปรับสภาพด้วยพลาสมาแก๊สเย็นยังมักให้คุณภาพการปรับสภาพสูงสุดและอายุการเก็บยาวที่สุดในบรรดากระบวนการที่มีอยู่

พลาสมาแก๊สเย็นกำจัดสิ่งปนเปื้อนควบคู่กับการกระตุ้นพื้นผิวหรือไม่

กำจัด และนี่เป็นหนึ่งในข้อดีหลักของมัน มันกำจัดไฮโดรคาร์บอนได้ ซึ่งตัดขั้นตอนทำความสะอาดด้วยตัวทำละลายแยกต่างหากออกไปได้ทั้งหมด การปรับสภาพความดันบรรยากาศไม่กำจัดไฮโดรคาร์บอนพอลิอะโรมาติกทั้งหมด ดังนั้นเมื่อใช้วิธีเหล่านั้น การทำความสะอาดด้วยตัวทำละลายก่อนหน้าจึงอาจยังจำเป็น

พลาสมาแก๊สเย็นช่วยการยึดเกาะเชิงกลเพิ่มจากพันธะเคมีหรือไม่

ช่วยทั้งสองอย่าง นอกจากการปรับสภาพทางเคมีแล้ว กระบวนการนี้ยังเพิ่มความขรุขระของพื้นผิว และลักษณะภูมิประเทศที่เพิ่มขึ้นนั้นช่วยการยึดเกาะเชิงกลโดยเป็นอิสระจากผลทางเคมี