紫外线/臭氧处理

紫外线 / 臭氧

UV-O3清洗通常能有效去除有机污染物，但对无机污染物可能效果有限。因此，在进行UV-O3清洗前，须先用纯水、溶剂等方法去除无机污染物，作为预清洗步骤。

UV-O3清洗原理

UV-O3清洗的原理如下：有机化合物在紫外线分解作用，以及O3生成与分解过程中强氧化作用的共同作用下，被转化为挥发性物质（如水、二氧化碳、氮气），从而从污染表面去除。

众所周知，低压汞蒸气灯发射的紫外线主要波长为184.9 nm和253.7 nm。当大气中的氧气O2受到波长为184.9 nm的紫外线照射时，氧气吸收紫外线，通过以下反应生成O3：

波长为189.4 nm的紫外线，以及波长为253.7 nm的紫外线照射臭氧O3时，O3吸收紫外光而分解。在O3生成或分解的过程中，会产生具有强氧化能力的原子态氧O。

可通过UV-O3清洗去除的污染物

• 切削油
• 蜂蜡与松脂混合物
• 研磨剂
• 真空泵油
• 硅扩散泵油
• 硅脂（真空用）
• 焊接助焊剂
• 人体皮脂
• 长期空气暴露中吸附的污染物
• 真空蒸发形成的碳薄膜

低压汞灯光谱图

大气等离子体

火焰等离子

紫外线 / 臭氧

电晕放电处理

Pyrosil 火焰等离子

氟氧化处理

电气空气等离子体

低压（冷气体）等离子体

化学与机械处理

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