電気コロナ放電
従来型の電気コロナ放電（誘電体バリア放電）は、高電圧電源に接続されたジェネレーターおよび電極、電位ゼロの対向電極、バリアとして用いる誘電体によって得られます。すなわち、アース接地で35kV以上、20～25kHzを必要とする2点間に電位差を生じさせる高周波・高電圧放電（昇圧トランス）です。カスタム電極構成により、平面、曲面、凹部、独立部など、さまざまな表面形状の処理が可能です。応用例の一つとして、ピン電極とボール電極を組み合わせ、3次元の小径穴と平坦な外表面を同時に処理する電気コネクタ用コロナ放電処理システムがあり、米国特許US5051586号（1991年）として登録されています。電気放電の結果、プラズマ領域にオゾンが発生します。コロナ放電は、溶剤洗浄や洗剤洗浄後などに残留する目に見えない炭化水素系物質の除去にも十分な効果があることが確認されています。
俗説：大気圧プラズマは、コロナ放電に代わる低コストな技術である。
事実：コロナ放電は、より広い表面積や、より深い表面深度の処理においてしばしば高い効果を発揮します。実際、多くの大気圧プラズマシステムはより高価です。
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よくあるご質問
電気式コロナ放電処理とは何ですか。
古典的な電気式コロナ放電——誘電体バリア放電——は、高電圧電源に接続した発生器と電極、電位ゼロの対向電極、そしてバリアとして働く誘電体を用います。二点間に電位差を生じさせる高周波・高電圧放電であり、通常は35 kV超、20〜25 kHzで接地を必要とします。
コロナ放電は平面フィルムだけでなく三次元部品も処理できますか。
専用の電極構成により、平面、曲面、凹部、孤立部など多様な表面形状を処理できます。文献に残る一例は電気コネクタ向けのコロナ処理システムで、ピン電極とボール電極の組合せにより小径の三次元孔と平坦な外面を同時に処理するもので、米国特許US5051586(1991年)に記載されています。
大気圧プラズマはコロナ放電の安価な代替ですか。
一般にはそうではありません。コロナ放電のほうが広い面積や深い処理深さでは有効なことが多く、大気圧プラズマ装置の多くはむしろ高価です。選択は処理要件と形状に基づくべきで、相対的なコストの思い込みに基づくべきではありません。
コロナ放電の洗浄効果はどの程度ですか。
溶剤や洗剤による洗浄の後に残る目に見えない炭化水素残渣の除去には、相応に有効であることが確かめられています。そのため洗浄の代替ではなく、洗浄に続く工程として用いられることが多いものです。
コロナ放電でオゾンは発生しますか。
はい。電気放電の結果としてプラズマ領域でオゾンが生成するため、設備側で管理する必要があります。
