Radiazione UV / Ozono
La pulizia UV-O3 è generalmente efficace nella rimozione dei contaminanti organici, sebbene possa risultare inefficace nella rimozione dei contaminanti inorganici. Pertanto, come pulizia preliminare, i contaminanti inorganici devono essere rimossi in anticipo utilizzando acqua pura, solventi o prodotti simili prima di effettuare la pulizia UV-O3.
Principio della pulizia UV-O3
Il principio della pulizia UV-O3 è il seguente: i composti organici vengono convertiti in sostanze volatili (ad esempio acqua, anidride carbonica, azoto) mediante la decomposizione da parte dei raggi ultravioletti e la forte ossidazione durante la formazione e la decomposizione dell'O3, per poi essere rimossi dalla superficie contaminata.
Le principali lunghezze d'onda dei raggi ultravioletti emessi da una nota lampada a vapori di mercurio a bassa pressione sono 184,9 nm e 253,7 nm. Quando l'ossigeno atmosferico O2 viene irradiato con raggi ultravioletti aventi lunghezza d'onda di 184,9 nm, l'ossigeno assorbe i raggi ultravioletti formando O3 tramite la seguente reazione:
Raggi ultravioletti con lunghezza d'onda di 189,4 nm. L'ozono O3, irradiato con raggi ultravioletti aventi lunghezza d'onda di 253,7 nm, assorbe la luce ultravioletta decomponendo l'O3. Durante il processo di formazione o decomposizione dell'O3, si genera ossigeno atomico O dotato di una forte capacità ossidante.
Contaminanti rimovibili con la pulizia UV-O3
- Oli da taglio
- Miscele di cera d'api e resina di pino
- Agenti lappanti
- Oli per pompe da vuoto
- Oli al silicone per pompe a diffusione
- Grassi al silicone per vuoto
- Flussanti per saldatura
- Sebo umano
- Contaminanti adsorbiti durante l'esposizione prolungata all'aria
- Film sottili di carbonio formati per evaporazione sotto vuoto
Spettro ottico della lampada a vapori di mercurio a bassa pressione
Plasma freddo a bassa pressione
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