Rayonnement UV / ozone
Le nettoyage UV-O3 est généralement efficace pour éliminer les contaminants organiques, bien qu'il puisse être inefficace pour éliminer les contaminants inorganiques. Par conséquent, en nettoyage préliminaire, les contaminants inorganiques doivent être éliminés au préalable à l'aide d'eau pure, de solvants ou de produits similaires avant d'effectuer le nettoyage UV-O3.
Principe du nettoyage UV-O3
Le principe du nettoyage UV-O3 est le suivant : les composés organiques sont transformés en substances volatiles (par exemple, eau, dioxyde de carbone, azote) par décomposition sous l'effet des rayons ultraviolets et par oxydation forte lors de la formation et de la décomposition de l'O3, puis sont éliminés de la surface contaminée.
Les principales longueurs d'onde des rayons ultraviolets émis par une lampe à vapeur de mercure basse pression bien connue sont 184.9 nm et 253.7 nm. Lorsque l'oxygène atmosphérique O2 est irradié par des rayons ultraviolets d'une longueur d'onde de 184.9 nm, l'oxygène absorbe les rayons ultraviolets pour former de l'O3 selon la réaction suivante :
Rayons ultraviolets d'une longueur d'onde de 189.4 nm. L'ozone O3 irradié par des rayons ultraviolets d'une longueur d'onde de 253.7 nm absorbe la lumière ultraviolette pour décomposer l'O3. Lors du processus de formation ou de décomposition de l'O3, de l'oxygène atomique O, doté d'un fort pouvoir oxydant, est généré.
Contaminants éliminables par le nettoyage UV-O3
- Huiles de coupe
- Mélanges de cire d'abeille et de résine de pin
- Agents de rodage
- Huiles pour pompes à vide
- Huiles de silicone pour pompes à diffusion
- Graisses de silicone pour vide
- Flux de brasage
- Sébum humain
- Contaminants adsorbés lors d'une exposition prolongée à l'air
- Films minces de carbone formés par évaporation sous vide
Spectre optique d'une lampe à mercure basse pression
Plasma à air (décharge électrique)
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